穿过电科（kē）装（zhuāng）备北京烁科中科信公（gōng）司（sī）制造中心的风淋系统，整条离子注（zhù）入机研制（zhì）产线映入眼（yǎn）帘，一台台设备完（wán）成装配调（diào）试后，输送至各集（jí）成电路先进产线（xiàn），参与“中国芯”制造。

　　北京烁（shuò）科中科信自成立之日起，就以攻克（kè）离子注入装备关（guān）键技（jì）术瓶颈，支撑我国电子元器件制造工艺装备自（zì）立自强为主责（zé），以离子注入（rù）机装备研发（fā）与产业化（huà）为主业，全（quán）力（lì）保（bǎo）障我国产业链供应（yīng）链安全与稳定，成（chéng）功入选第五批国家（jiā）级专精特新“小巨人”企业培育名单。

　　离（lí）子注入机的工（gōng）作原理是（shì）通过（guò）电（diàn）磁场控（kòng）制高速运动的离子，按照工（gōng）艺要（yào）求以精准方式完成注入。概念虽（suī）仅（jǐn）有短短一句话，但其难度（dù）不亚于以飞（fēi）机的速度一（yī）次成功（gōng）地完成侧（cè）方位（wèi）停车，因（yīn）此，对离子注入机的综合性能（néng）要求极为严格（gé）。

　　“设（shè）备（bèi）研制毫无经验可循，攻关（guān）过程是一场孤军奋战的战（zhàn）役，纵（zòng）是如此，我们也要（yào）一往（wǎng）无前。”离子（zǐ）注入（rù）机研（yán）发团队负责人表示。

从“0”到全系（xì）列

　　2003年（nián），一群意（yì）气风发的青（qīng）年（nián）变身“背包（bāo）客”，坐上绿皮车远赴（fù）他乡，扎根北京（jīng），投（tóu）身离子注入（rù）机事业（yè）。经历了“摸着（zhe）石头过河”的艰辛，突（tū）破了艰苦创业的困（kùn）境，取得技术研发的成（chéng）果。我国（guó）第（dì）一（yī）台国产中束流离子（zǐ）注入（rù）整机于2008年（nián）研制成功，实（shí）现从“0”到“1”的突（tū）破（pò）。

　　团队愈战愈（yù）勇，连续（xù）突破了离（lí）子源、离子束传输（shū）与控（kòng）制等五（wǔ）大关（guān）键技术（shù），攻克了离子（zǐ）注入机的技术瓶颈，完成了第三代化合物半（bàn）导体离子注入机及（jí）大束流离子注入（rù）机（jī）研制，2021年，成（chéng）功（gōng）将高能离子（zǐ）注入机交付产（chǎn）线，形成（chéng）了（le）全系列国产离子注入机产（chǎn）品格局（jú），实现国产（chǎn）离子注（zhù）入装备（bèi）的自主创（chuàng）新（xīn）发展。

从“0”到全覆盖

　　“28纳米几乎是注（zhù）入工艺（yì）中最为经典、较为复杂的制程，也是（shì）注（zhù）入工序中需求（qiú）最多及生命周期最长的节点。”

       为保障我国集成电路（lù）产（chǎn）线需求，北京烁科中科信向28纳米工艺节点（diǎn）发起（qǐ）挑战，不（bú）仅（jǐn）要突破该节点，还要实现全系列产品工艺全覆盖（gài）。

　　“28纳（nà）米工艺对注入角度、注入剂（jì）量精度（dù）有严格要求，注入（rù）期间，设备软硬件（jiàn）要紧密配合，需根（gēn）据不（bú）同注（zhù）入（rù）区域（yù）实时对注入剂（jì）量进（jìn）行调整，稍有偏颇，良（liáng）率（lǜ）将达不到产（chǎn）线要求。”

　　由于厂内设备无法真（zhēn）实模拟出产线注片环境，只能在客户端进行测试，攻（gōng）关（guān）期间，工艺（yì）工程师和设（shè）备工（gōng）程师轮番24小（xiǎo）时驻守客户端，只为将最新测试数据及（jí）时（shí）传输，通过数据（jù）分（fèn）析，对剂量和角度进行一（yī）遍（biàn）又一遍地调（diào）整。

　　现（xiàn）下，北京烁科中科信中束流及大束流（liú）设备均（jun1）已达（dá）成工艺指（zhǐ）标（biāo），且工艺水准经过了先（xiān）进集成（chéng）电路（lù）产线验（yàn）证（zhèng），两（liǎng）种设备产（chǎn）线晶圆制备累计超（chāo）过2000万（wàn）片。高（gāo）能离子注入机作为刚上线不久的兆伏级设备同样（yàng）打通了（le）28纳米节点（diǎn），且与同类型（xíng）设备相比，能量范围更宽、注入均一（yī）性（xìng）能更好（hǎo）。

　　从仅有十余人的小组，到如今人才济济的庞大（dà）团队，北京烁科中科信（xìn）一（yī）往无前的（de）初心从未改变（biàn），正通过模组式交付方式让（ràng）装备制（zhì）造提速（sù），以科学的（de）科研（yán）体系（xì）使研发流程规范，通过与市场接轨提升装（zhuāng）备品质，让（ràng）更多电（diàn）科（kē）制造的离子注入机服务于“中国芯”制造（zào），切（qiē）实保障我国（guó）集成（chéng）电路制造行业在成熟和（hé）先进制（zhì）程（chéng）领域的生产安全，为中国半导体产（chǎn）业高速发展赋能。